国家知识产权局信息数据显现,郑州合晶硅资料有限公司请求一项名为“一种改进硅片边际金属污染的整理洗刷办法”的专利,公开号CN121075907A,请求日期为2025年9月。
专利摘要显现,本请求公开了一种改进硅片边际金属污染的整理洗刷办法,包含以下过程:S1.首先向十分快速地旋转的硅片的正面和反面中心顺次喷发臭氧水、酸性清洗液和水;S2.然后向十分快速地旋转的硅片的边际顺次喷发所述臭氧水、所述酸性清洗液和所述水;S3.再向十分快速地旋转的硅片的正面和反面中心顺次喷发所述臭氧水和所述水;所述酸性清洗液中包含氢氟酸和EDTA类螯合剂,所述氢氟酸的浓度为2500~3000ppm,所述EDTA螯合剂的质量百分比浓度为0.1%~1%。本请求在惯例的清洗工艺的基础上添加边际清洗,且在酸性清洗液添加EDTA螯合剂,大幅度下降了边际金属含量,提升了硅片的质量。
天眼查资料显现,郑州合晶硅资料有限公司,成立于2017年,坐落郑州市,是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本212000万人民币。经过天眼查大数据分析,郑州合晶硅资料有限公司参加招投标项目18次,专利信息97条,此外企业还具有行政许可44个。
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